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节能单晶硅炉 

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申请/专利权人:深圳市银冠节能科技有限公司

摘要:本实用新型涉及单晶硅制备设备领域,具体涉及一种节能单晶硅炉。本实用新型提供一种节能单晶硅炉,包括炉体,炉体炉口朝上,还包括设在炉体内的用于盛放原料的坩埚,坩埚埚口朝上对准炉体炉口,坩埚旁侧设有加热器对其进行加热,坩埚下方设有用于调控炉体内温度的底部热场装置,所述炉体的内侧壁上全部或局部设有隔热银层。该单晶硅炉隔热效果较好,功耗较低且较为节能。

主权项:1.节能单晶硅炉,包括炉体,炉体炉口朝上,还包括设在炉体内的用于盛放原料的坩埚,坩埚埚口朝上对准炉体炉口,坩埚旁侧设有加热器对其进行加热,坩埚下方设有用于调控炉体内温度的底部热场装置,其特征在于,所述炉体的内侧壁上全部或局部设有隔热银层。

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权利要求:

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