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一种用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉 

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申请/专利权人:江苏晶品新能源股份有限公司

摘要:本实用新型公开了单晶炉技术领域的一种用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉,包括炉体,炉体右侧壁设有控制器,炉体右侧设有储氩罐,炉体右侧壁设有盒体,盒体右侧壁设有抽气泵,抽气泵进气端连接设有输送管,输送管一端与储氩罐内部相连接,盒体内设有控制盒,控制盒右侧壁贯穿连通设有第一输气管,第一输气管一端与抽气泵出气端相连接,控制盒左侧壁贯穿连通设有第二输气管,第二输气管一端贯穿盒体内左侧壁与炉体右侧壁与炉体内部相连通,控制盒内设有控制组件,本实用在控制组件的配合下能够氩气进入到炉体内的流量进行控制,从而能够对氩气流量进行调节,使用方便。

主权项:1.一种用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉,包括炉体1,所述炉体1右侧壁设有控制器2,所述炉体1右侧设有储氩罐4,其特征在于:所述炉体1右侧壁设有盒体7,所述盒体7右侧壁设有抽气泵6,所述抽气泵6进气端连接设有输送管5,所述输送管5一端与储氩罐4内部相连接,所述盒体7内设有控制盒11,所述控制盒11右侧壁贯穿连通设有第一输气管10,所述第一输气管10一端与抽气泵6出气端相连接,所述控制盒11左侧壁贯穿连通设有第二输气管9,所述第二输气管9一端贯穿盒体7内左侧壁与炉体1右侧壁与炉体1内部相连通,所述控制盒11内设有控制组件8。

全文数据:

权利要求:

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