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申请/专利权人：福州天瑞线锯科技有限公司
摘要：本发明公开了一种单晶硅棒切割面角度检测装置及开方机，所述开方机包括所述单晶硅棒切割面角度检测装置，所述单晶硅棒切割面角度检测装置包括测量件、竖向驱动机构、纵向驱动机构；竖向驱动机构包括伺服电机、竖向螺杆、连接座及滑轨；滑轨竖向设置于夹持机构的夹持座处；连接座设置有滑块，滑块可竖向滑动地安装于滑轨内；伺服电机设置于夹持机构的夹持座处，且伺服电机的输出轴竖向设置；竖向螺杆与伺服电机的输出轴同轴连接，连接座开设有竖向的螺纹孔，竖向螺杆螺纹传动地穿过连接座的螺纹孔；纵向驱动机构用于驱动测量件移动；测量件与纵向驱动机构连接，且相对连接座竖直向上凸出。本发明具有可以检测出单晶硅棒的切割面是否水平的优点。
主权项：1.一种单晶硅棒切割面角度检测装置，其特征在于，包括测量件、竖向驱动机构、纵向驱动机构；所述竖向驱动机构包括伺服电机、竖向螺杆、连接座及滑轨；所述滑轨竖向设置于夹持机构的夹持座处；所述滑轨设置有两条，两条滑轨均竖向设置于夹持机构的夹持座处，所述竖向螺杆位于两条滑轨之间；所述连接座设置有两个滑块，两个滑块分别可竖向滑动地安装于两个滑轨内；所述连接座设置有滑块，连接座与滑轨相对设置，且滑块可竖向滑动地安装于滑轨内；所述伺服电机设置于夹持机构的夹持座处，且伺服电机的输出轴竖向设置；所述竖向螺杆与伺服电机的输出轴同轴连接，连接座开设有竖向的螺纹孔，竖向螺杆螺纹传动地穿过连接座的螺纹孔；所述纵向驱动机构设置于连接座处，用于驱动测量件在水平面内，以垂直单晶硅棒的长度方向移动；所述测量件与纵向驱动机构连接，且相对连接座竖直向上凸出；伺服电机驱动带动连接座和测量件竖向移动；测量件移动至不同位置处，在和伺服电机的配合下，获知不同位置处测量件移动至单晶硅棒的切割面的移动路程；比对多次测量的移动路程是否一致，若一致则表明单晶硅棒的切割面呈水平状态，若不一致则表明单晶硅棒的切割面呈非水平状态，需要对单晶硅棒的角度进行调整；还包括竖向螺杆固定座，所述竖向螺杆固定座设置有轴承；竖向螺杆固定座设置于夹持机构的夹持座处，且与伺服电机正对；所述竖向螺杆未与伺服电机连接的一端穿于轴承内。
全文数据：
权利要求：
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