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申请/专利权人：应用材料以色列公司
摘要：一种高压降噪单元，包括：i输入，所述输入被配置为接收高压输入信号HVIS；ii正隔离供电单元，所述正隔离供电单元被配置为接收HVIS以及输出在HVIS上浮动的正供电信号；iii负隔离供电单元，所述负隔离供电单元被配置为接收HVIS以及输出在HVIS上浮动的负供电信号；iv低通滤波器，所述低通滤波器被配置为对HVIS进行滤波以提供经滤波的高压信号；以及v放大器，所述放大器被配置为接收正供电信号、接收负供电信号、接收经滤波的高压信号，以及放大经滤波的高压信号以提供高压输出信号。
主权项：1.一种高压降噪单元，所述高压降噪单元包括：输入，所述输入被配置为接收具有至少五百伏的值的高压输入信号；正隔离供电单元，所述正隔离供电单元被配置为接收所述高压输入信号以及输出在所述高压输入信号上浮动的正供电信号；负隔离供电单元，所述负隔离供电单元被配置为接收所述高压输入信号以及输出在所述高压输入信号上浮动的负供电信号；低通滤波器，所述低通滤波器被配置为对所述高压输入信号进行滤波以提供经滤波的高压信号；以及放大器，所述放大器被配置为接收所述正供电信号、接收所述负供电信号、接收所述经滤波的高压信号，以及放大所述经滤波的高压信号以提供高压输出信号。
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