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一种透明柔性基板的透明基材厚度检测方法 

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申请/专利权人:国鲸科技(广东横琴粤澳深度合作区)有限公司

摘要:本发明提供一种透明柔性基板的透明基材厚度检测方法,属于光学技术领域,其方法包括获取透明基材的基础信息,根据所述基础信息选择适配的干涉仪以及衍射仪;基于干涉仪对透明基材进行干涉检测,生成干涉条纹,将所述干涉条纹与标准条纹进行第一对比分析;基于衍射仪对透明基材进行衍射检测,生成衍射图样,将所述衍射图样与标准图样进行第二对比分析;根据第一对比分析结果与第二对比分析结果,分别计算透明基材的第一厚度与第二厚度,并生成厚度分布图,对所述厚度分布图进行分析,确定透明基板的最终厚度,能有效排除单方式测量造成的偏差,提高了检测质量的评估和控制能力。

主权项:1.一种透明柔性基板的透明基材厚度检测方法,其特征在于,包括:步骤1:获取透明基材的基础信息,对透明基材进行检测区域划分,同时,根据所述基础信息选择适配的干涉仪以及衍射仪;步骤2:基于干涉仪对检测区域进行干涉检测,生成干涉条纹,将所述干涉条纹与标准条纹进行第一对比分析;步骤3:基于衍射仪对检测区域进行衍射检测,生成衍射图样,将所述衍射图样与标准图样进行第二对比分析;步骤4:根据第一对比分析结果与第二对比分析结果,分别计算检测区域的第一厚度与第二厚度,并生成厚度分布图,对所述厚度分布图进行分析,确定透明基板的最终厚度;步骤4中,第一厚度的计算过程是: ;其中,表示透明基材第x检测区域的第一厚度;表示检测光源的波长;表示共设置了n1个不同的干涉检测角度;表示第i个干涉检测角度;表示干涉条纹的阶数;、与分别表示透明基材的基本光学性质系数、透明基材干涉实验中波长平方倒数对折射率的影响系数与透明基材干涉实验中波长四次方倒数对折射率的影响系数;表示干涉条纹与对应标准条纹之间的偏移量;对所述厚度分布图进行分析,确定透明基板的最终厚度包括:分析厚度分布图的峰值与谷值,确定异常点,根据所述异常点的干涉条纹特征与图样特征对异常点进行复审,计算第一厚度与第二厚度的均值,结合复审结果确定异常点的存在;若不存在异常点,则根据均值输出最终厚度;若存在异常点,则对异常点进行告警。

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