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申请/专利权人：乐孜芯创半导体设备(上海)有限公司
摘要：本发明公开了一种多尺寸兼容型密闭式基板盒装载口，安装在半导体设备前端模块上，通过在8英寸密闭式基板盒中放置不同基板收容器适配器，能够实现多种不同尺寸的基板自动选取预设的工艺参数进行装载。使用基板收容器适配器结构设计保证多种基板收容器在水平向定位，多种尺寸基板收容器前端对齐。通过设置适配器的高度，保证多尺寸密闭式基板盒加适配器的高度和8英寸基板收容器的高度一致，从而保证了基板收容器在密闭式基板盒内的稳定固定。
主权项：1.一种多尺寸兼容型密闭式基板盒装载口，其特征在于，包括：第一基板收容器，用于承载与其对应的多层基板；第二基板收容器，用于承载与其对应的多层基板；密闭式基板盒，包括密闭式基板盒底座和密闭式基板盒外壳；密闭式基板盒底座用于承载所述第一基板收容器和第二基板收容器，密闭式基板盒外壳用于与所述密闭式基板盒底座形成容纳所述第一基板收容器和或所述第二基板收容器的密闭式结构；限位挡块，设置于所述密闭式基板盒底座，用于限制所述第二基板收容器在水平方向上的移动；适配器，用于限制所述第一基板收容器在水平方向上的移动；开口部，其开设在所述装载口的前端，洁净气流通过所述开口部进入所述装载口内；洁净抽排装置组件，其设置在所述装载口的底部，所述洁净抽排装置组件持续向所述装载口的下部抽排气体，以保证所述装载口的内部气体的洁净度，所述适配器的下表面的限位结构与所述限位挡块相匹配，基于所述适配器的下表面的限位结构与所述限位挡块，实现所述适配器在所述密闭式基板盒底座上的安装，所述第一基板收容器为6英寸基板收容器，用于承载多层6英寸基板；所述第二基板收容器为8英寸基板收容器，用于承载多层8英寸基板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 乐孜芯创半导体设备(上海)有限公司 一种多尺寸兼容型密闭式基板盒装载口
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