龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：胜科纳米(苏州)股份有限公司
摘要：本发明提供了一种超薄悬空膜透射电镜样品的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：1使用铪源和氧源在悬空膜的表面交替进行多层原子层沉积，得到氧化铪层；2采用聚焦离子束在步骤1所述氧化铪层的表面依次沉积碳和金属薄膜，制得悬空膜透射电镜样品。所述制备方法通过在低温下依次交替沉积生长硬质HfO2保护层，可快速获得无变形的膜层；同时交替生长的HfO2可释放ALD生长过程中膜层本身的应力，在后续FIB制备过程中可以保持悬空膜结构的稳定且不损伤悬空膜，获得真实的悬空结构信息，保证后期TEM表征数据真实可靠。
主权项：1.一种超薄悬空膜透射电镜样品的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：（1）使用铪源和氧源在悬空膜的表面交替进行至少两层原子层沉积，得到氧化铪层；所述原子层沉积的温度为50-60℃；所述原子层沉积过程中：铪源的通入时间为55-65mScycle，氧源的通入时间为55-65mScycle；所述悬空膜的单面氧化铪层的总厚度≥30nm；（2）采用聚焦离子束在步骤（1）所述氧化铪层的表面依次沉积碳和金属薄膜，制得悬空膜透射电镜样品。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 胜科纳米(苏州)股份有限公司 一种超薄悬空膜透射电镜样品的制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号