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申请/专利权人：昂坤视觉(北京)科技有限公司;杭州昂坤半导体设备有限公司

摘要：本发明提供了一种晶粒图形片缺陷检测方法及系统，该方法包括：在预设数据库中对应调出预存分布图，并通过预存分布图对样品晶圆进行解析处理，以生成对应的样品分布图；实时检测出样品分布图中包含的标志位以及若干晶粒区域，每一晶粒区域分别对应一种晶粒，并通过标志位或者晶粒对样品分布图进行定位处理，以生成对应的标准样品分布图；对标准样品分布图进行全盘扫描，以检测出每一种晶粒分别对应的定位核以及区域范围；根据预设数据库实时检测出与每一区域范围对应的目标检测阈值，并基于定位核根据目标检测阈值对每一晶粒区域进行对应的检测以及判断，以输出对应的检测结果。本发明能够同时检测多种不同的晶粒，提升了检测效率。

主权项：1.一种晶粒图形片缺陷检测方法，其特征在于，所述方法包括：当检测到样品晶圆进入检测区域时，在预设数据库中对应调出预存分布图，并通过所述预存分布图对所述样品晶圆进行解析处理，以生成对应的样品分布图，其中，所述预存分布图中存储有各类晶粒在晶圆的内部可能出现得分布情况；实时检测出所述样品分布图中包含的标志位以及若干晶粒区域，每一所述晶粒区域分别对应一种晶粒，并通过所述标志位或者所述晶粒对所述样品分布图进行定位处理，以生成对应的标准样品分布图；对所述标准样品分布图进行全盘扫描，以检测出每一种晶粒分别对应的定位核以及区域范围；根据所述预设数据库实时检测出与每一所述区域范围对应的目标检测阈值，并基于所述定位核根据所述目标检测阈值对每一所述晶粒区域进行对应的检测以及判断，以输出对应的检测结果；所述通过所述标志位或者所述晶粒对所述样品分布图进行定位处理，以生成对应的标准样品分布图的步骤包括：当实时获取到所述样品分布图时，在所述预设数据库中实时调出与所述样品分布图适配的定位模板；当获取到所述定位模板时，在预设算法数据库中对应调出模板比对算法；根据所述定位模板、所述模板比对算法以及所述标志位对所述样品分布图进行定位处理，以对应生成所述标准样品分布图；所述根据所述定位模板、所述模板比对算法以及所述标志位对所述样品分布图进行定位处理，以对应生成所述标准样品分布图的步骤包括：当实时获取到所述模板比对算法时，通过所述模板比对算法对所述定位模板以及所述样品分布图进行特征比对处理，以对应检测出所述样品分布图中的标志位所对应的第一目标位置以及目标角度；基于预设规则根据所述第一目标位置以及所述目标角度对应检测出所述样品分布图中的每个晶粒分别对应的第二目标位置，以对应生成所述标准样品分布图，所述定位模板具有唯一性；所述基于预设规则根据所述第一目标位置以及所述目标角度对应检测出所述样品分布图中的每个晶粒分别对应的第二目标位置，以对应生成所述标准样品分布图的步骤包括：当实时获取到所述标志位对应的第一目标位置以及目标角度时，根据所述第一目标位置以及所述目标角度在所述样品分布图中实时创建出对应的目标二维坐标系；对所述样品分布图中的每个晶粒分别添加对应的目标标识，并基于所述目标标识通过所述目标二维坐标系实时检测出与每一所述晶粒分别对应的第二目标位置，以对应生成所述标准样品分布图，所述第一目标位置和所述第二目标位置均包含有具体的坐标。

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