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申请/专利权人：山东益立申节能技术有限公司
摘要：本实用新型涉及半导体生产设备技术领域，具体涉及一种双水环泵的抽真空装置。所述的抽真空装置包括水环泵一、水环泵二、罗茨泵一、罗茨泵二、罗茨泵三、水汽分离器、阀门一、阀门二、阀门三和阀门四；所述水环泵一的排气口与所述水环泵二的排气口均与所述水汽分离器连接，所述水环泵一的进水口与所述水环泵二的进水口均与进水管连接，所述水环泵一的吸气口与所述阀门一的一端连接，所述水环泵二的吸气口与所述阀门二的一端连接；所述阀门一的另一端与所述阀门三的一端及抽吸管路连接，所述抽吸管路上设置有阀门四。本实用新型采用双水环泵及多罗茨泵的多组重叠搭配而成的组合机组，解决了油烟环保的问题，解决了燃烧爆炸的隐患。
主权项：1.一种双水环泵的抽真空装置10，其特征在于：包括水环泵一111、水环泵二112、罗茨泵一121、罗茨泵二122、罗茨泵三123、水汽分离器130、阀门一141、阀门二142、阀门三143和阀门四144；所述水环泵一111的排气口与所述水环泵二112的排气口均与所述水汽分离器130连接，所述水环泵一111的进水口与所述水环泵二112的进水口均与进水管连接，所述水环泵一111的吸气口与所述阀门一141的一端连接，所述水环泵二112的吸气口与所述阀门二142的一端连接；所述阀门一141的另一端与所述阀门三143的一端及抽吸管路连接，所述抽吸管路上设置有阀门四144，所述阀门三143的另一端与所述罗茨泵三123的吸气口连接，所述罗茨泵三123的排气口与所述罗茨泵二122的吸气口连接，所述罗茨泵二122的排气口与所述罗茨泵一121的吸气口连接，所述罗茨泵一121的排气口与所述阀门二142的另一端连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东益立申节能技术有限公司 一种双水环泵的抽真空装置
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