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一种聚焦离子束中的多功能芯片托盘 

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申请/专利权人:纳瑞科学仪器(江苏)有限公司

摘要:一种聚焦离子束中的多功能芯片托盘,包括托盘本体,托盘本体为直径75cm的圆盘,圆盘的整个盘面上设置有线切割矩阵小铝块、铝阵列划槽;圆盘的中部盘面上还设置直径50cm的圆印记;圆盘的盘面上设置有两个螺丝孔;圆盘的底部中间设置有凸台,在凸台的中心部位处设置底柱。其优点是:水平性好;可以同时固定多个芯片;可以同时固定不同封装类型且可以多个同时固定;可以固定带有pcb板的芯片;可以适应多种不同排针尺寸的dip,pcb芯片;可以适应厚度超出加工范围的芯片;节省上样带来的抽放气时间,提高效率;上样不会失误超出加工范围。

主权项:1.一种聚焦离子束中的多功能芯片托盘,其特征在于:包括托盘本体,所述托盘本体为直径75cm的圆盘,所述圆盘的整个盘面上设置有线切割矩阵小铝块、铝阵列划槽;所述圆盘的中部盘面上还设置直径50cm的圆印记;所述圆盘的盘面上设置有两个螺丝孔;所述圆盘的底部中间设置有凸台,在所述凸台的中心部位处设置底柱。

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