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一种抑制卤化亚汞晶体加工中微条纹产生的加工方法 

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申请/专利权人:山东大学

摘要:本发明提供了一种抑制卤化亚汞晶体加工中微条纹产生的加工方法。该方法包括步骤如下:采用粒径为10‑20μm的粗颗粒度Al2O3抛光液对卤化亚汞晶体进行磨削,去除卤化亚汞切割造成的表面损伤层;采用粒径为0.5‑3μm的中颗粒度Al2O3抛光液对卤化亚汞样品进行二次抛光,消除由刚玉磨盘所引入的划痕;采用粒径为0.01‑0.1μm的细颗粒度Al2O3抛光液对卤化亚汞样品进行精密抛光,去除卤化亚汞晶体表面留下的麻点状凹坑。本发明可有效抑制卤化亚汞晶体001面在加工过程中产生的解理条纹,晶体表面的结晶性得到显著提高。所加工的不同方向的晶体具有高质量表面,可用于高性能红外偏光声光器件。

主权项:1.一种抑制卤化亚汞晶体加工中微条纹产生的加工方法,包括步骤如下:1采用粒径为10-20μm的粗颗粒度Al2O3抛光液对卤化亚汞晶体进行磨削,去除卤化亚汞切割造成的表面损伤层;2采用粒径为0.5-3μm的中颗粒度Al2O3抛光液对步骤1所得卤化亚汞样品进行二次抛光,消除由磨削所引入的划痕;3采用粒径为0.01-0.1μm的细颗粒度Al2O3抛光液对步骤2所得卤化亚汞样品进行精密抛光,去除卤化亚汞晶体表面留下的麻点状凹坑,完成对卤化亚汞晶体的加工。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 山东大学 一种抑制卤化亚汞晶体加工中微条纹产生的加工方法

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