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申请/专利权人：北京机床研究所有限公司
摘要：本发明涉及超精密加工及检测技术领域，提供一种超精密垂直轴平衡系统及加工系统。超精密垂直轴平衡系统包括底座、蓄能器、平衡组件和连接组件；平衡组件包括两个平衡缸，两个平衡缸沿竖向平行且间隔设于底座，平衡缸包括缸体、缸杆和活塞，缸杆的第一端位于缸体内，活塞设于缸杆的第一端并位于缸体内，缸体内位于活塞上下的两部分空间连通且压力相等，蓄能器与两个缸体均连接；连接组件包括连杆，连杆的第一端与其中一个缸杆的第二端连接，连杆的第二端与另一个缸杆的第二端连接，连杆被配置为与加工组件连接。本发明提供的超精密垂直轴平衡系统及加工系统，解决了现有平衡缸系统平衡精度低的缺陷。
主权项：1.一种超精密垂直轴平衡系统，其特征在于，包括：底座、蓄能器、平衡组件和连接组件；所述平衡组件包括两个平衡缸，两个所述平衡缸沿竖向平行且间隔设于所述底座，所述平衡缸包括缸体、缸杆和活塞，所述缸杆的第一端位于所述缸体内，所述活塞设于所述缸杆的第一端并位于所述缸体内，所述缸体内位于所述活塞上下的两部分空间连通且压力相等，所述蓄能器与两个所述缸体均连接；所述连接组件包括连杆，所述连杆的第一端与其中一个所述缸杆的第二端连接，所述连杆的第二端与另一个所述缸杆的第二端连接，所述连杆被配置为与加工组件连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京机床研究所有限公司 超精密垂直轴平衡系统及加工系统
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