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申请/专利权人：华中科技大学
摘要：本申请属于超精密减振领域，公开了一种真空环境兼容的精密主动减振器，包括：顶板、底板和减振单元，减振单元包括并联的被动减振单元和主动减振单元，主动减振单元设置于顶板和底板之间，且位于空气弹簧外，被动减振单元包括同轴且竖直设置的空气弹簧和磁负刚度弹簧；空气弹簧包括主气室，主气室的底部连接有金属密封波纹管，主气室的顶端与顶板柔性连接；金属密封波纹管的底端密封固定于底板上，使主气室成真空密闭腔；磁负刚度弹簧设置于空气弹簧内，且其顶端固定于空腔的上壁上，其底端与底板柔性连接。本申请具有优异的隔振性能且具有良好的真空环境适应性，满足EUV光刻机等设备的隔振需求。
主权项：1.一种真空环境兼容的精密主动减振器，其特征在于，包括：顶板1、底板2和减振单元，所述减振单元包括并联的被动减振单元和主动减振单元，所述被动减振单元包括同轴且竖直设置的空气弹簧4和磁负刚度弹簧5，所述主动减振单元设置于顶板1和底板2之间，且位于空气弹簧4外；所述空气弹簧4包括主气室41，所述主气室41的底部连接有金属密封波纹管42，所述主气室41的顶端与顶板1柔性连接；所述金属密封波纹管42的底端密封固定于底板2上，使主气室41形成第一真空密封腔；所述磁负刚度弹簧5位于空气弹簧4内，其顶端固定于第一真空密封腔上壁上，其底端与底板2柔性连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华中科技大学 一种真空环境兼容的精密主动减振器
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