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申请/专利权人：云南中科鑫圆晶体材料有限公司;云南鑫耀半导体材料有限公司;云南大学
摘要：晶棒多线切割后的晶片脱胶清洗台，涉及工业应用领域。本实用新型包括主体、清洗系统、加热器、抽风口和喷淋管，清洗系统安装在主体中间，加热器安装在清洗系统下部，与清洗系统接触；抽风口安装在主体上部，位于清洗系统上方；喷淋管设置在清洗系统内；本实用新型将脱胶、超声清洗、鼓泡、喷淋、抽风、照明功能集于一体，各功能既可单独使用也可多种功能相互配合使用，更高效的对切割片进行脱胶清洗；具有超声煤油清洗、超声清洗剂清洗、酸脱胶清洗、冲水清洗四步工序，可最大程度的清洗掉切割片表面附着的砂浆、油脂等脏污。
主权项：1.一种晶棒多线切割后的晶片脱胶清洗台，其特征在于该清洗台包括主体、清洗系统、加热器、抽风口和喷淋管，清洗系统安装在主体中间，加热器安装在清洗系统下部，与清洗系统接触；抽风口安装在主体上部，位于清洗系统上方；喷淋管设置在清洗系统内；其中：清洗系统包括煤油槽、清洗剂槽、脱胶槽和冲水槽，煤油槽、清洗剂槽、脱胶槽和冲水槽水平顺序放置；加热器设置在脱胶槽下部；喷淋管安装在冲水槽内；抽风口上连接有抽风管。
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权利要求：
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