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申请/专利权人：TDK株式会社
摘要：本发明涉及能够进行适当的湿度修正等且能够高精度地检测气体的气体传感器及气体检测方法。气体传感器具有：基材，其形成有腔室；第一绝缘膜，其形成于所述腔室上及所述腔室的周缘部、即腔室周缘部；第二绝缘膜，其重叠地形成于所述第一绝缘膜之上；加热器部，其形成于所述第一绝缘膜和所述第二绝缘膜之间；第一补偿用元件，其具有在所述腔室上的第一位置以第一形成面积形成且具有虚设材料的第一虚设材料部；第二补偿用元件，其具有在所述腔室上的第二位置以第二形成面积形成且具有所述虚设材料的第二虚设材料部；探测用元件，其具有在所述腔室上的第三位置具有与所述规定的气体反应的气体探测材料的探测材料部。
主权项：1.一种气体传感器，其中，具有：基材，其形成有腔室；第一绝缘膜，其形成于所述腔室上及作为所述腔室的周缘部的腔室周缘部；第二绝缘膜，其重叠地形成于所述第一绝缘膜之上；加热器部，其形成于所述第一绝缘膜和所述第二绝缘膜之间；第一补偿用元件，其具有在所述腔室上的第一位置上以第一形成面积形成于所述加热器部及所述第二绝缘膜之上且具有不与规定的气体反应的虚设材料的第一虚设材料部、和检测所述第一虚设材料部的物理量的第一补偿检测部；第二补偿用元件，其具有在所述腔室上的第二位置上以与所述第一形成面积不同的第二形成面积形成于所述加热器部及所述第二绝缘膜之上且具有所述虚设材料的第二虚设材料部、和检测所述第二虚设材料部的物理量的第二补偿检测部；探测用元件，其具有在所述腔室上的第三位置上形成于所述加热器部及所述第二绝缘膜之上且具有与所述规定的气体反应的气体探测材料的探测材料部、和检测所述探测材料部的物理量的反应检测部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： TDK株式会社 气体传感器及气体检测方法
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