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申请/专利权人：青岛歌尔微电子研究院有限公司
摘要：本发明公开了一种选择性溅镀工装、选择性溅镀方法和电子产品，涉及半导体技术领域，其中，选择性溅镀工装包括工装主体和挡墙，工装主体的一表面形成有安装位，用于固定待镀件；挡墙凸设于工装主体朝向安装位的表面，并位于安装位的一侧，用于遮蔽待镀件非溅镀区域的侧壁；本发明提供的选择性溅镀工装可以实现遮蔽待镀件非溅镀区域的侧壁，即实现待镀件非溅镀区域侧壁的选择性溅镀；并且，本发明的选择性溅镀工装结构设置较为简单，制作简单且成本相对较低；同时，本发明的选择性溅镀工装可适用于全塑封的封装体、选择性塑封的封装体或阶梯塑封的封装体，适用范围较广。
主权项：1.一种选择性溅镀工装，其特征在于，所述选择性溅镀工装包括：工装主体，所述工装主体的一表面形成有安装位，用于固定待镀件；和挡墙，所述挡墙凸设于所述工装主体朝向所述安装位的表面，并位于所述安装位的一侧，用于遮蔽所述待镀件非溅镀区域的侧壁。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 青岛歌尔微电子研究院有限公司 选择性溅镀工装、选择性溅镀方法和电子产品
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