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申请/专利权人:株洲三一硅能技术有限公司
摘要:本发明涉及太阳能电池技术领域,尤其涉及一种太阳能电池片切割面的钝化方法及其系统、太阳能电池片以及电池组件。太阳能电池片切割面的钝化方法包括:将太阳能电池切割面的至少部分设置钝化膜层;所述钝化膜层至少包括第一钝化层和第二钝化层;所述第一钝化层通过原子层沉积技术沉积得到,所述第二钝化层通过等离子体原子层沉积技术沉积得到。本发明通过优化钝化沉积工艺,能够提升膜层质量的同时,缩短达到最优钝化膜层厚度工艺时间,兼顾镀膜效率和质量。
主权项:1.一种太阳能电池片切割面的钝化方法,其特征在于,包括:将太阳能电池切割面的至少部分设置钝化膜层;所述钝化膜层至少包括第一钝化层和第二钝化层;所述第一钝化层通过原子层沉积技术沉积得到,所述第二钝化层通过等离子体原子层沉积技术沉积得到。
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百度查询: 株洲三一硅能技术有限公司 太阳能电池片切割面的钝化方法及其系统、太阳能电池片以及电池组件
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