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申请/专利权人：中国人民解放军国防科技大学
摘要：本发明提供一种结合微球透镜和等效微球的超分辨三维形貌测量装置及方法，该装置包括光束生成单元、分光棱镜、第一显微物镜、微球透镜、第二显微物镜、等效微球、平面标准镜、CCD相机以及数据处理单元；分光棱镜将光束生成单元生成的白光分成测量光束和参考光束，测量光束经第一显微物镜和微球透镜聚焦至待测样本表面，经待测样本反射后返回分光棱镜，参考光束经第二显微物镜和等效微球聚焦至平面标准镜，经平面标准镜反射后返回分光棱镜，在分光棱镜处发生干涉，由CCD相机采集形成干涉图样，数据处理单元对干涉图样进行数据处理获得待测样本的超分辨三维形貌分布。本发明能够结合微球透镜和等效微球实现超分辨、高精度的三维形貌测量。
主权项：1.一种结合微球透镜和等效微球的超分辨三维形貌测量装置，其特征在于，包括光束生成单元、分光棱镜（8）、第一显微物镜（9）、微球透镜（10）、第二显微物镜（13）、等效微球（14）、平面标准镜（15）、CCD相机（19）以及数据处理单元；所述微球透镜（10）设于待测样本（11）的表面以用于辅助实现对待测样本的超分辨成像，所述等效微球（14）设于所述平面标准镜（15）的表面以用于对微球透镜（10）在测量光路引入的额外光程差进行等效补偿，所述光束生成单元用于生成白光光束，生成的所述白光光束到达所述分光棱镜（8）后分为测量光束和参考光束，其中测量光束经所述第一显微物镜（9）和微球透镜（10）聚焦至待测样本（11）表面，并经待测样本（11）反射后返回所述分光棱镜（8），参考光束经所述第二显微物镜（13）和等效微球（14）聚焦至所述平面标准镜（15），并经所述平面标准镜（15）的反射后返回分光棱镜（8），反射后的参考光束与反射后的测量光束在所述分光棱镜（8）处发生干涉，由所述CCD相机（19）采集形成的干涉图样，所述数据处理单元通过对CCD相机（19）采集的干涉图样进行数据处理以获得待测样本的超分辨三维形貌分布。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国人民解放军国防科技大学 结合微球透镜和等效微球的超分辨三维形貌测量装置及方法
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