龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：深圳烯格微电子有限公司
摘要：本发明涉及晶圆切割技术领域，且公开了一种晶圆连续性切割装置，包括驱动电机、联结组件、吸渣组件、切割刀组和调节组件；所述驱动电机用于驱动吸渣组件和切割刀组；所述联结组件设置于驱动电机的驱动端，所述联结组件用于为吸渣组件和切割刀组传输动力；所述吸渣组件设置于切割刀组的两侧，所述吸渣组件用于收集切割刀组切割晶圆本体时产生的残渣，通过吸渣组件的设置，吸渣组件中的活塞在抽吸管中运动，从而产生抽吸力，将切割晶圆本体产生的渣滓抽吸，并由存渣箱收集，防止渣滓在切割刀组的前后方聚集，且防止渣滓吹到其他位置影响晶圆本体的质量。
主权项：1.一种晶圆连续性切割装置，其特征在于，包括：驱动电机2、联结组件3、吸渣组件4、切割刀组5和调节组件6；所述驱动电机2用于驱动吸渣组件4和切割刀组5；所述联结组件3设置于驱动电机2的驱动端，所述联结组件3用于为吸渣组件4和切割刀组5传输动力；所述吸渣组件4设置于切割刀组5的两侧，所述吸渣组件4用于收集切割刀组5切割晶圆本体101时产生的残渣；所述切割刀组5设置于联结组件3的端部，所述切割刀组5用于切割晶圆本体101；所述调节组件6设置于切割刀组5的端面，所述调节组件6用于调节切割刀组5的整体直径。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳烯格微电子有限公司 一种晶圆连续性切割装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号