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申请/专利权人：聚时科技(上海)有限公司
摘要：本申请涉及半导体前道检测技术领域，为一种暗场检测系统及方法，具体为一种检测系统、调节方法、缺陷检测设备及缺陷检测方法。能够通过反射光路中配置光学器件和探测器，实现对于检测光束指向性、检测光束离焦和激光器温度的实时检测；并通过在入射光路中设置对应的调节器件，实现对于上述检测结果中的异常情况的消除。从而提高了光学系统运行的稳定性，并提高了检测结果的准确性。
主权项：1.一种检测系统，包括暗场检测通道，所述暗场检测通道包括PMT，用于对待测物检测，其特征在于，还包括：光源，用于产生入射光路；所述入射光路经待测物反射形成反射光路；位置传感器，设置于反射光路中，用于检测光束的方向；温度调节装置，靠近所述光源设置，接收由位置传感器反馈的检测结果，并根据检测结果对光源进行温度调节。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 聚时科技(上海)有限公司 一种检测系统、调节方法、缺陷检测设备及缺陷检测方法
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