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申请/专利权人：常州金骆驼机电设备有限公司
摘要：本发明涉及用机械或化学方法除去层或层的一部分，尤其是涉及一种自动撕膜机，包括用于输送覆有贴膜的晶圆片的输送模块，用于使贴膜边缘受热翘起的烫边模块，用于将翘起的贴膜撕下并对晶圆片进行清洗的冲洗模块和用于晶圆片在输送模块、烫边模块和冲洗模块之间转移的搬运模块，烫边模块包括夹座、热刀和刀片气缸，晶圆片固定设置于夹座上，热刀通过刀片气缸靠近或远离置于夹座上的晶圆片，输送模块包括晶圆片托盘和输送带，装载有晶圆片的晶圆片托盘设置于输送带上，输送带的输送方向与搬运模块的搬运方向垂直。该自动撕膜机通过烫边模块和冲洗模块的配合，将贴膜边缘烫翘后，再利用高压水枪将贴膜冲掉即可，更加便捷，省去了人工撕膜的麻烦。
主权项：1.一种自动撕膜机，其特征在于：包括输送模块10，用于输送覆有贴膜的晶圆片51，烫边模块20，用于使贴膜边缘受热翘起，冲洗模块30，用于将翘起的贴膜撕下并对晶圆片51进行清洗，和搬运模块40，用于晶圆片51在输送模块10、烫边模块20和冲洗模块30之间转移。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 常州金骆驼机电设备有限公司 一种自动撕膜机
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