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申请/专利权人：江苏元夫半导体科技有限公司
摘要：本申请公开了一种接水盘及漏液检测方法，该接水盘包括：盘本体；分流槽，所述分流槽设置于所述盘本体的顶面，所述分流槽用于接收漏液；漏液检测件，所述分流槽内具有供所述漏液流经的第一流路，所述分流槽内沿所述第一流路的延伸方向间隔设置有多个所述漏液检测件，且所述分流槽内的各所述漏液检测件均设置在所述第一流路上，所述漏液检测件用于检测是否有流经自身的所述漏液。本申请有利于增强漏液检测的可靠性、及时性，有利于方便漏液区域的定位。
主权项：1.一种接水盘，其特征在于，包括：盘本体；分流槽，所述分流槽设置于所述盘本体的顶面，所述分流槽用于接收漏液；漏液检测件，所述分流槽内具有供所述漏液流经的第一流路，所述分流槽内沿所述第一流路的延伸方向间隔设置有多个所述漏液检测件，且所述分流槽内的各所述漏液检测件均设置在所述第一流路上，所述漏液检测件用于检测是否有流经自身的所述漏液。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏元夫半导体科技有限公司 一种接水盘及漏液检测方法
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