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一种应用于真空烧结工艺的坩埚夹具 

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申请/专利权人:巨玻固能(苏州)薄膜材料有限公司

摘要:本发明涉及坩埚夹具技术领域,且特别涉及一种应用于真空烧结工艺的坩埚夹具,包括盖板、伸缩件、套接管、顶管、支撑件、夹持件、驱动组件和导向杆,坩埚包含一个开口端和一个外壁,坩埚外壁靠近开口端处构造有第二齿槽。该应用于真空烧结工艺的坩埚夹具,通过将盖板盖设于坩埚的开口端,并在盖板上开设贯通孔,能够实现坩埚开口端的有效封闭,并通过贯通孔引入保护性气体,克服了传统夹持装置缺乏气体隔离机制的问题,从而有效防止坩埚内部材料的污染和氧化,其次,通过在夹持件上设置第一齿槽,并使其与坩埚外壁上的第二齿槽啮合连接,使得盖板与坩埚的稳定连接,克服了传统夹持方式由于坩埚表面光滑而导致的夹持件滑动或松动问题。

主权项:1.一种应用于真空烧结工艺的坩埚夹具,其中,坩埚包括容置空间和与容置空间连通的开口端,开口端的周侧设置有第二齿槽,其特征在于,包括:盖板,盖设于坩埚的开口端,以使开口端闭合,所述盖板沿自身厚度方向开设有贯通孔,所述贯通孔与外部保护性气源连通;顶管,固定连接于盖板顶部;伸缩件,设置在所述顶管的内部,所述伸缩件包括受控移动的伸缩端;套接管,滑动套设在所述顶管的外部,所述套接管的一端与所述伸缩件的所述伸缩端连接,以使所述套接管随所述伸缩件的伸缩端的伸缩而移动;支撑件,固定连接于所述盖板的顶部;夹持件,所述夹持件上构造有可与第二齿槽啮合的第一齿槽,所述夹持件上还构造有导向槽;驱动组件,所述夹持件通过所述驱动组件与所述支撑件连接,所述驱动组件与所述套接管相连,以使所述驱动组件随所述套接管的移动而运动,从而驱使所述夹持件运动;导向杆,设置在所述盖板背离坩埚的一侧,所述导向杆的轴线与所述盖板背离坩埚一侧的平面平行,所述导向杆穿设在所述导向槽内,所述导向杆的外周侧与所述导向槽的内壁滑动连接,以限制夹持件的运动路径;所述第一齿槽包括第一状态和第二状态,其中,所述第一状态时,所述伸缩件的所述伸缩端伸长,以驱动所述套接管朝背离所述盖板的方向移动,令所述套接管通过所述驱动组件带动所述夹持件运动,所述夹持件在所述导向杆与所述导向槽的滑动配合下,令所述第一齿槽与第二齿槽啮合连接,以使所述盖板在所述第一齿槽与第二齿槽的配合作用下受到指向坩埚开口端的力;所述第二状态时,所述伸缩件的所述伸缩端收缩,以驱动所述套接管朝向所述盖板移动,令所述套接管通过所述驱动组件带动所述夹持件运动,所述夹持件在所述导向杆与所述导向槽的滑动配合下,令所述第一齿槽与第二齿槽分离,以使所述盖板可与坩埚分离。

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