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压电微机械超声换能器(PMUT)设计 

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申请/专利权人:高通科技公司

摘要:各方面包括用于声换能的压电声换能器和系统。在一些方面,一种声换能器被构造为具有硅衬底,该硅衬底具有顶部表面和底部表面,其中顶部表面具有第一部分和沿第一部分的与声孔相关联的边缘。该换能器具有第一氧化硅层,该第一氧化硅层设置在硅衬底的顶部表面的第一部分之上;多晶硅层,该多晶硅层设置在第一氧化硅层之上;和第二氧化硅层,该第二氧化硅层设置在多晶硅层之上。一种包括固定端、偏转端、顶部表面和底部表面的悬臂梁具有底部表面的在固定端处的第一部分,该第一部分设置在第二氧化硅层之上,其中底部表面的在偏转端处的第二部分形成在声孔之上。在一些方面。换能器元件能够根据系统操作模式在并联配置与串联配置之间重新配置。

主权项:1.一种声换能器,包括:硅衬底,所述硅衬底具有顶部表面和底部表面,其中所述顶部表面具有第一部分和沿所述第一部分的与声孔相关联的边缘;第一氧化硅层,所述第一氧化硅层设置在所述硅衬底的所述顶部表面的所述第一部分之上;多晶硅层,所述多晶硅层设置在所述第一氧化硅层之上;第二氧化硅层,所述第二氧化硅层设置在所述多晶硅层之上;和悬臂梁,所述悬臂梁包括固定端、偏转端、顶部表面和底部表面,其中所述底部表面的在所述悬臂梁的所述固定端处的第一部分设置在所述第二氧化硅层之上,其中所述底部表面的在所述偏转端处的第二部分形成在所述声孔之上。

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权利要求:

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