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一种杜瓦组件热负载和热质量的测试方法及装置 

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申请/专利权人:浙江珏芯微电子有限公司

摘要:本发明公开了一种杜瓦组件热负载和热质量的测试方法及装置,属于杜瓦热负载测试技术领域;包括步骤S1,将待测试杜瓦组件倒置于固定工装上;步骤S2,通过数字万用表测试位于待测试杜瓦组件内部的电阻加热片在未通电条件下,待测试杜瓦组件的焦平面从液氮温度下开始的第一升温速率;步骤S3,通过数字万用表测试电阻加热片在通电条件下,待测试杜瓦组件的焦平面从液氮温度下开始的第二升温速率;步骤S4,通过上位机输出热负载和热质量。上述技术方案的有益效果是:能够精确测量不同焦平面温度下的杜瓦热负载和热质量,满足实际测试要求,避免了杜瓦表面结霜或液氮沸腾起泡等现象,测试精度高,无需反复测试。

主权项:1.一种杜瓦组件热负载和热质量的测试方法,其特征在于,包括,步骤S1,将待测试杜瓦组件1倒置于固定工装5上;步骤S2,通过数字万用表3测试位于所述待测试杜瓦组件1内部的电阻加热片16在未通电条件下,所述待测试杜瓦组件1的焦平面从液氮温度下开始的第一升温速率;步骤S3,通过所述数字万用表3测试所述电阻加热片16在通电条件下,所述待测试杜瓦组件1的所述焦平面从所述液氮温度下开始的第二升温速率;步骤S4,通过上位机4对所述第一升温速率和所述第二升温速率进行数据处理,输出所述待测试杜瓦组件1的热负载和热质量。

全文数据:

权利要求:

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