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申请/专利权人：深圳华尔升智控技术有限公司
摘要：本申请公开了一种氦气回收提纯方法及过程中用的净化装置，该方法包括：对含氦工业废气进行智能预处理；利用多级热能回收系统回收所述含氦工业废气的废热；使用多级催化反应器系统去除所述含氦工业废气的杂质；采用气体分离技术进行氦气富集和初步纯化；通过精馏模块对氦气进行精馏提纯；利用净化技术实现氦气的精细纯化；利用智能监控和维护系统进行预测性维护。
主权项：1.一种氦气回收提纯方法，其特征在于，所述方法包括：对含氦工业废气进行智能预处理；利用多级热能回收系统回收所述含氦工业废气的废热；使用多级催化反应器系统去除所述含氦工业废气的杂质；采用气体分离技术进行氦气富集和初步纯化；通过精馏模块对氦气进行精馏提纯；利用净化技术实现氦气的精细纯化；利用智能监控和维护系统进行预测性维护。
全文数据：
权利要求：
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