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申请/专利权人：君原电子科技(海宁)有限公司
摘要：本发明公开了一种静电卡盘孔堵塞检测疏通装置及方法，属于静电卡盘技术领域，所述装置包括：机架，所述机架用于支撑等待检测疏通的静电卡盘；堵塞检测装置，所述堵塞检测装置设置在所述静电卡盘的下方，所述堵塞检测装置包括拍摄模块和图像处理模块，所述拍摄模块与所述图像处理模块连接；供液装置，所述供液装置设置在所述静电卡盘的上方，所述供液装置包括供液容器和储液容器，所述供液容器与所述储液容器通过连接管连通，所述连接管上设有增压泵，所述供液容器的底部设有下供液管，所述下供液管的端部设有下密封接头，所述下供液管上设有下供液管阀，所述供液容器的顶部设有上通气管，所述上通气管上设有上通气管阀。
主权项：1.一种静电卡盘孔堵塞检测疏通装置，其特征在于，所述装置包括：机架，所述机架用于支撑等待检测疏通的静电卡盘；堵塞检测装置，所述堵塞检测装置设置在所述静电卡盘的下方，所述堵塞检测装置包括拍摄模块和图像处理模块，所述拍摄模块与所述图像处理模块连接，所述拍摄模块包括摄像头，所述摄像头对准所述静电卡盘孔的下方；供液装置，所述供液装置设置在所述静电卡盘的上方，所述供液装置包括供液容器和储液容器，所述供液容器与所述储液容器通过连接管连通，所述连接管上设有增压泵，所述连接管为软管，所述连接管上设有连接管阀，所述供液容器的底部设有下供液管，所述下供液管的端部设有下密封接头，所述下供液管上设有下供液管阀，所述供液容器的顶部设有上通气管，所述上通气管上设有上通气管阀，所述上通气管的上方设有压紧组件，所述压紧组件包括压紧弹簧，所述压紧弹簧与所述上通气管连接。
全文数据：
权利要求：
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