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申请/专利权人:格芯(美国)集成电路科技有限公司
摘要:本发明涉及具有弯曲耦合辅助特征的双层边缘耦合器,提供边缘耦合器的结构以及形成此类结构的方法。该结构包括半导体衬底、包括弯曲段以及终止该弯曲段的端部的第一波导芯、以及包括邻近该第一波导芯的该弯曲段设置的段的第二波导芯。该第一波导芯设置于该第二波导芯与该半导体衬底间。
主权项:1.一种边缘耦合器的结构,其特征在于,该结构包括:半导体衬底;第一波导芯,包括第一弯曲段以及终止该第一弯曲段的第一端部;以及第二波导芯,包括邻近该第一波导芯的该第一弯曲段设置的第一段,其中,该第一波导芯设置于该第二波导芯与该半导体衬底间。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 格芯(美国)集成电路科技有限公司 具有弯曲耦合辅助特征的双层边缘耦合器
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