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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明的课题在于预先防止与狭缝喷嘴一体地下降的喷嘴防护件踩踏突出物而对处理液向基板的涂布带来不良影响的情况。本发明提供一种基板处理装置及基板处理方法。本发明包括：狭缝喷嘴，具有狭缝状的吐出口；移动机构，使狭缝喷嘴相对于基板相对地移动；喷嘴防护件，在狭缝喷嘴通过移动机构而相对于基板相对地行进的喷嘴行进方向上配置于狭缝喷嘴的前方侧，并与狭缝喷嘴一体地移动；升降机构，使狭缝喷嘴与喷嘴防护件一体地升降；以及碰撞探测部，探测通过升降机构下降的喷嘴防护件的前端在基板的表面侧向上方突出并与阻碍处理液的涂布的突出物碰撞。
主权项：1.一种基板处理装置，将处理液涂布在基板的表面上，且所述基板处理装置的特征在于，包括：狭缝喷嘴，具有狭缝状的吐出口；移动机构，使所述狭缝喷嘴相对于所述基板相对地移动；喷嘴防护件，在所述狭缝喷嘴通过所述移动机构而相对于所述基板相对地行进的喷嘴行进方向上配置于所述狭缝喷嘴的前方侧，并与所述狭缝喷嘴一体地移动；升降机构，使所述狭缝喷嘴与所述喷嘴防护件一体地升降；以及碰撞探测部，在所述狭缝喷嘴开始涂布所述处理液之前，所述狭缝喷嘴与所述喷嘴防护件一体地向所述狭缝喷嘴开始涂布所述处理液的位置下降时，探测通过所述升降机构下降的所述喷嘴防护件的前端在所述基板的表面侧向上方突出并与阻碍所述处理液的涂布的突出物从上方碰撞并踩踏的情况。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理装置及基板处理方法
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