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申请/专利权人：株式会社富士
摘要：错误原因推定装置具备存储部、合计部以及提取部。存储部将评价对象与错误代码建立关联并存储于存储装置，该评价对象是在对基板进行预定的对基板作业的对基板作业机的对基板作业中使用的使用设备以及在对基板作业中使用的使用数据中的至少一方，该错误代码表示使用了评价对象的对基板作业的作业错误。合计部对应每个错误代码对关于存储于存储装置的多种评价对象的错误发生状况的评价值进行合计。提取部基于对应每个错误代码合计出的多种评价对象之间的错误发生状况的评价值的显著性差异，提取成为作业错误的原因的评价对象即特定对象。
主权项：1.一种错误原因推定装置，具备：存储部，将评价对象与错误代码建立关联并存储于存储装置，所述评价对象是在对基板进行预定的对基板作业的对基板作业机的所述对基板作业中使用的使用设备以及在所述对基板作业中使用的使用数据中的至少一方，所述错误代码表示使用了所述评价对象的所述对基板作业的作业错误；合计部，对应每个所述错误代码对关于存储于所述存储装置的多种所述评价对象的错误发生状况的评价值进行合计；以及提取部，基于对应每个所述错误代码合计出的多种所述评价对象之间的所述错误发生状况的所述评价值的显著性差异，提取成为所述作业错误的原因的所述评价对象即特定对象。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社富士 错误原因推定装置以及错误原因推定方法
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