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申请/专利权人：上海高笙集成电路设备有限公司
摘要：本发明提供了一种集成式尾气处理设备，该集成式尾气处理设备中设置有干泵和尾气处理装置，其中，尾气处理装置中设置有水汽分离装置，水汽分离装置中设置有第一分离腔体和第二分离腔体，第一分离腔体中设置有供尾气流通的第一流通通道、第二流通通道、第三流通通道，提升冷凝第二分离腔体内设置有涡旋冷凝组件，尾气进入第一分离腔体后沿第一流通通道进向上流通，之后进入第一筒体内并沿第二流通通道向下流通，之后进入第二筒体内并沿第三流通通道向上流通，之后进入第二分离腔体，如此，设置多级水汽分离结构，尾气经过多个流通通道且进行变向流通，增加了尾气的冷凝过程，增加了尾气与冷凝腔体的接触面积，提升了水汽分离效果。
主权项：1.一种集成式尾气处理设备，其特征在于，包括干泵和尾气处理装置，所述干泵和所述尾气处理装置之间通过管道相互连通；所述尾气处理装置包括水汽分离装置，所述水汽分离装置包括从下至上连通设置的第一分离腔体和第二分离腔体；所述第一分离腔体中设置有第一筒体和第二筒体，所述第一筒体顶部开口且底部设置有排水阀，所述第一分离腔体和所述第一筒体之间形成第一流通通道，所述第二筒体套设在第一筒体内，所述第二筒体顶部和底部均开口，所述第一筒体和第二筒体之间形成第二流通通道，所述第二筒体内部形成第三流通通道，尾气进入第一分离腔体后沿第一流通通道向上流通，之后进入第一筒体内并沿第二流通通道向下流通，进入第二筒体内并沿第三流通通道向上流通，最后进入第二分离腔体；所述第二分离腔体内设置有涡旋冷凝组件；所述涡旋冷凝组件包括相对交错设置的涡旋冷凝单元，所述涡旋冷凝单元的顶部和底部均设置有多孔纤维板，各所述涡旋冷凝单元之间形成供尾气通过的第四流通通道；所述第四流通通道包括涡旋入口、涡旋出口以及涡旋腔室，尾气从涡旋入口进入涡旋腔室内，在涡旋腔室内形成涡旋气流，最后从涡旋出口流出；在下层的涡旋冷凝单元上设置供水滴通过的滴落孔，滴落孔与涡旋冷凝单元的内腔之间相互隔断，互不连通；当凝结的水滴通过滴落孔时，会在滴落孔处形成水膜，阻止尾气通过滴落孔向上流通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海高笙集成电路设备有限公司 一种集成式尾气处理设备
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