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申请/专利权人：西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)

摘要：本发明公开了一种刻蚀下料机的自动装篮机构及其装篮方法，解决了现有机构硅片容易产生动摩擦印痕的问题。通过机构的整体移动，实现舌头板进入篮具进行硅片装篮，整体移出，在硅片入篮机构（4）中设置有入篮机构气缸（6）和入篮机构导轨（10），在入篮机构气缸（6）上设置有气缸滑块（7），在入篮机构导轨上设置有导轨滑块（11），在气缸滑块与导轨滑块（11）之间，设置有入篮机构支架（8），在入篮机构支架（8）的顶端设置有水平舌头板（9），在主动皮带轮（14）、左从动皮带轮（15）、右从动皮带轮（16）和张紧轮（17）之间设置有封闭的入篮传送皮带（18）。避免了由于硅片与皮带的动摩擦所产生的皮带印的产生。

主权项：1.一种刻蚀下料机的自动装篮机构的装篮方法，是通过刻蚀下料机的自动装篮机构进行的，刻蚀下料机的自动装篮机构，包括硅片缓存传送线（1）和篮具（5），在硅片缓存传送线（1）上，设置有两平行的硅片传送缓存皮带（19），在硅片传送缓存皮带（19）上设置有被传送硅片（2），在硅片缓存传送线（1）与篮具（5）之间，设置有硅片入篮机构（4），在硅片入篮机构（4）中设置有入篮机构气缸（6）和入篮机构导轨（10），入篮机构气缸（6）和入篮机构导轨（10）是设置在硅片缓存传送线（1）与篮具（5）之间的设备底座板上的，入篮机构气缸（6）与入篮机构导轨（10）彼此平行，并沿硅片传送方向设置，在入篮机构气缸（6）上设置有气缸滑块（7），在入篮机构导轨（10）上设置有导轨滑块（11），在气缸滑块（7）与导轨滑块（11）之间，设置有入篮机构支架（8），在入篮机构支架（8）的顶端设置有水平舌头板（9），在水平舌头板（9）的左端设置有左从动皮带轮（15），在水平舌头板（9）的右端设置有右从动皮带轮（16），在水平舌头板（9）的中部下端设置有张紧轮（17），在入篮机构支架（8）上设置有传动皮带驱动电机（12），在传动皮带驱动电机（12）的输出轴上连接有皮带传送主动轴（13），在皮带传送主动轴（13）上设置有主动皮带轮（14），在主动皮带轮（14）、左从动皮带轮（15）、右从动皮带轮（16）和张紧轮（17）之间设置有封闭的入篮传送皮带（18）；在硅片缓存传送线（1）上设置有缓存篮具（3）；其特征在于以下步骤：第一步、控制入篮机构气缸（6），使气缸滑块（7）向右滑动，入篮机构支架（8）向右滑动，使水平舌头板（9）的右端进入到篮具（5）中，控制传动皮带驱动电机（12）启动，使入篮传送皮带（18）旋转，第一片硅片（2），从硅片缓存皮带（19）上被传送到入篮传送皮带（18）上，并最后进入篮具（5）；第二步、控制传动皮带驱动电机（12）停止，第二张硅片（2）停止在入篮传送皮带（18）上，准备装入篮具（5）中；第三步、控制篮具（5）上升一个硅片存储格高度后，控制传动皮带驱动电机（12）启动，使入篮传送皮带（18）旋转，第二片硅片（2）从入篮传送皮带（18）上进入篮具（5）；如此循环，完成篮具（5）的100片硅片的装篮；第四步、控制传动皮带驱动电机（12）停止，并同时控制入篮机构气缸（6），使气缸滑块（7）向左滑动，入篮机构支架（8）向左滑动，使水平舌头板（9）的右端离开到篮具（5），与此同时，水平舌头板（9）的左端进入到缓存篮具（3）中。

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