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申请/专利权人：联盛半导体科技(无锡)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种硅片清洗篮流转输送架，涉及硅片清洗装置领域，包括底框架，底框架的左、右两端分别安装有侧板，两侧板顶端的前端之间、两侧板顶端的后端之间分别通过连接横杆相连，两侧板垂直于各连接横杆的中轴线；连接横杆的两端分别位于距其最近的侧板的外侧；各侧板的外侧面顶端的前、后两端分别设有挂耳，各侧板的外侧面形心位置横向设置有凸耳；各侧板的挂耳正下方相同高度处设有两输送耳；底框架上设有若干清洗篮安装孔。本实用新型硅片清洗篮流转输送架在方便挂钩挂取的同时，便于通过水平输送机构将硅片清洗篮流转输送架从非密闭环境下输送到密闭环境中。
主权项：1.一种硅片清洗篮流转输送架，其特征在于：包括底框架（1），底框架（1）的左、右两端分别安装有侧板（2），两侧板（2）顶端的前端之间、两侧板（2）顶端的后端之间分别通过连接横杆（3）相连，两侧板（2）垂直于各连接横杆（3）的中轴线；连接横杆（3）的两端分别位于距其最近的侧板（2）的外侧；各侧板（2）的外侧面顶端的前、后两端分别设有挂耳（4），各侧板（2）的外侧面形心位置横向设置有凸耳（5）；各侧板（2）的挂耳（4）正下方相同高度处设有两输送耳（6）；底框架（1）上设有若干清洗篮安装孔（7）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 联盛半导体科技(无锡)有限公司 一种硅片清洗篮流转输送架
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