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一种掩膜版及其制备方法 

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申请/专利权人:昆山国显光电有限公司

摘要:本申请公开了一种掩膜版及其制备方法,其中,掩膜版包括:框架;至少一个掩膜条,包括贯穿其厚度方向的多个第一过孔,多个第一过孔沿第一方向间隔排布;至少一个支撑条,支撑条设置于掩膜条一侧,且与框架固定连接;支撑条包括贯穿其厚度方向的多个第二过孔,多个第二过孔沿第一方向间隔排布;支撑条与框架或掩膜条滑动连接;其中,当支撑条相对掩膜条沿第一方向运动至不同位置时,多个第一过孔和多个第二过孔相互配合以形成不同位置状态,位置状态至少包括:第一状态,至少一个第一过孔与至少一个第二过孔位置相对应,以形成至少一个贯通掩膜条厚度方向和支撑条厚度方向的通孔。通过上述方式,能够有效降低成本,减小生产过程的出错概率。

主权项:1.一种掩膜版,其特征在于,包括:框架;至少一个掩膜条,包括贯穿其厚度方向的多个第一过孔,多个所述第一过孔沿第一方向间隔排布,相邻两个所述第一过孔的中心点之间具有第一间距,所述掩膜条的长度方向沿所述第一方向设置;所述掩膜条沿所述第一方向间隔设置有多个有效蒸镀区,在每个所述有效蒸镀区内设置有有效像素开口;且在所述第一方向上,相邻两个所述有效像素开口的中心点之间具有所述第一间距;至少一个支撑条,所述支撑条设置于所述掩膜条一侧,且与所述框架固定连接,所述支撑条的长度方向沿第二方向设置,所述第一方向和所述第二方向相互垂直;所述支撑条包括贯穿其厚度方向的多个第二过孔,多个所述第二过孔沿所述第一方向间隔排布,相邻两个所述第二过孔的中心点之间具有所述第一间距,所述第二过孔在掩膜条上的正投影覆盖第一过孔;所述支撑条沿其长度方向相对设置的两端分别与所述框架固定连接;所述掩膜条沿其长度方向相对设置的两端分别与所述框架固定连接;所述支撑条与所述框架或所述掩膜条滑动连接;其中,当所述支撑条相对所述掩膜条沿所述第一方向运动至不同位置时,多个所述第一过孔和多个所述第二过孔相互配合以形成不同位置状态,所述位置状态至少包括:第一状态,至少一个所述第一过孔与至少一个所述第二过孔位置相对应,以形成至少一个贯通所述掩膜条厚度方向和所述支撑条厚度方向的通孔,所述通孔用于形成符合不同类型有机层需求的材料检测单元。

全文数据:

权利要求:

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