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申请/专利权人：西湖仪器(杭州)技术有限公司
摘要：本发明公开了一种应用于碳化硅晶片的剥离设备及其使用方法，包括剥离部件和用于驱动剥离部件升降的升降装置；剥离部件包括基板，基板的上方设有若干个同心设置的活动环，基板的下方设有若干个同心设置的粘结环，粘接环与相对应的活动环之间通过连接轴相连；活动环与基板之间设有促动器；连接轴在刚性连接状态与浮动连接状态之间切换；当连接轴处于浮动连接状态时，粘接环与活动环之间存在相对浮动空间；粘接环上设有振动器，振动器驱动粘接环上下振动。发明中，通过分区域由外向内依次对被剥离层进行分离，降低被剥离层与晶锭分离时所需的剥离力，从而降低对碳化硅晶格结构的破坏，保证材料的电学和光学性能。
主权项：1.一种应用于碳化硅晶片的剥离设备，其特征在于，包括剥离部件和用于驱动剥离部件升降的升降装置；剥离部件包括基板，基板的上方设有若干个同心设置的活动环，基板的下方设有若干个同心设置的粘结环，粘结环与活动环一一对应，粘接环与相对应的活动环之间通过连接轴相连；活动环与基板之间设有促动器；连接轴在刚性连接状态与浮动连接状态之间切换；当连接轴处于浮动连接状态时，粘接环与活动环之间存在相对浮动空间；粘接环上设有振动器，振动器驱动粘接环上下振动；粘接环的下端面用于和晶锭上被剥离层的上表面粘接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西湖仪器(杭州)技术有限公司 一种应用于碳化硅晶片的剥离设备及其剥离方法
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