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申请/专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司

摘要：本发明公开了一种工件传输系统、工件传输方法及激光退火设备，该工件传输系统用于在工件存储器、预处理机构和工件台之间传输工件，该工件传输系统包括：传输机械手、厂务气源、备用气源和管路，传输机械手在工件存储器、预处理机构和工件台之间传输工件，传输机械手通过管路连接厂务气源，传输机械手被配置为能够在厂务气源出现异常后使工件处于安全工位；备用气源与厂务气源并联设置，备用气源被配置为在厂务气源出现异常时为传输机械手供气。上述的工件传输系统能够保证工件传输过程中不会因厂务气源出现异常而发生掉落或损坏，有利于提高激光退火工艺效率，节约激光退火工艺成本。相应地，本发明还提供一种工件传输方法及激光退火设备。

主权项：1.一种工件传输系统，用于在工件存储器、预处理机构（20）和工件台（30）之间传输工件，其特征在于，所述工件传输系统包括：传输机械手（51），所述传输机械手（51）在所述工件存储器、所述预处理机构（20）和所述工件台（30）之间传输所述工件，所述传输机械手（51）通过管路（54）连接厂务气源（52），所述传输机械手（51）被配置为能够在所述厂务气源（52）出现异常后使所述工件处于安全工位；备用气源（53），与所述厂务气源（52）并联设置，所述备用气源（53）被配置为在所述厂务气源（52）出现异常时为所述传输机械手（51）供气；所述传输机械手（51）被配置为能够在所述厂务气源（52）出现异常后获取工件吸附方向，若所述传输机械手（51）从所述工件上方吸附所述工件，则所述传输机械手（51）携带所述工件翻转180°使所述工件处于安全工位；还包括：第一压力传感器（541），所述第一压力传感器（541）设置在所述厂务气源（52）和所述传输机械手（51）之间的管路（54）上，用于检测所述厂务气源（52）的供气压力；所述传输机械手（51）被配置为在预设翻转工位携带所述工件进行180°翻转，所述预设翻转工位为翻转过程中所述传输机械手（51）和所述工件与所述工件存储器、所述预处理机构（20）和所述工件台（30）均不会发生干涉的位置；所述传输机械手（51）携带工件经过所述预设翻转工位时，所述第一压力传感器（541）被触发检测所述厂务气源（52）的供气压力；所述传输机械手（51）未到达预设翻转工位时，不检测所述厂务气源（52）的压力，当所述传输机械手（51）未到达预设翻转工位时，所述厂务气源（52）出现异常，系统仅自动切换气源到所述备用气源（53）为所述传输机械手（51）供气，而不进行获取工件吸附方向和翻转工件180°的操作。

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