买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：苏州佑伦真空设备科技有限公司

摘要：本申请提供一种真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，从上到下包括：气缸、连轴器、第二中空套筒、电极固定件、探头晶振片固定件、和盖帽，所述连轴器与气缸和第一杆体固定，连轴器的外面套设有第一中空套筒，第一中空套筒的上端与气缸的壳体固定，下端与第二中空套筒固定，电极固定件与第二中空套筒的下端固定，探头晶振片固定件与第一杆体的下部固定，6个探头和晶振片均匀分布并固定在探头晶振片固定件内，盖帽套设在探头晶振片固定件的外面、且与电极固定件连接固定，盖帽的底部具有一个第一通孔，气缸每次旋转60°，带动连轴器、第一杆体和探头晶振片固定件同步旋转60°，使得更换一个探头和晶振片与盖帽的第一通孔位置对应。

主权项：1.一种真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，其特征在于，从上到下包括：气缸（1）、连轴器（2）、第二中空套筒（4）、电极固定件（5）、探头晶振片固定件（6）、和盖帽（7），所述连轴器（2）的上部与气缸（1）的气缸轴（11）固定，连轴器（2）的下部与第一杆体（8）固定，连轴器（2）的外面套设有第一中空套筒（3），第一中空套筒（3）的上端与气缸（1）的壳体（12）固定，第一中空套筒（3）的下端与第二中空套筒（4）的上端固定，电极固定件（5）与第二中空套筒（4）的下端固定，两个电极固定在电极固定件（5）内，探头晶振片固定件（6）与第一杆体（8）的下部连接固定，6个探头和6个晶振片均匀分布并固定在探头晶振片固定件（6）内，盖帽（7）套设在探头晶振片固定件（6）的外面、并且与电极固定件（5）连接固定，盖帽（7）的底部具有一个第一通孔（71），气缸（1）每次旋转60°，带动连轴器（2）、第一杆体（8）和探头晶振片固定件（6）同步旋转60°，使得更换一个探头和晶振片与盖帽（7）的第一通孔（71）位置对应，连轴器（2）包括上固定部（21）、中空中部（22）和下固定部（23），上固定部（21）与气缸轴（11）的下部固定，下固定部（23）与第一杆体（8）的上部固定，气缸轴（11）的底面与第一杆体（8）的上表面之间具有间距，第二中空套筒（4）从上到下包括中空圆环部（41）和中空圆柱部（42），第一杆体（8）穿过第二中空套筒（4）的内部，中空圆柱部（42）的下表面与电极固定件（5）通过螺丝固定，第二中空套筒（4）还包括套设在中空圆柱部（42）外的中空环套（43），中空环套（43）的上部与中空圆环部（41）固定，中空环套（43）的下部与真空蒸镀机的腔体的上面板固定，探头晶振片固定件（6）由上部（61）和下部（62）组成，上部（61）与下部（62）固定，上部（61）和下部（62）均具有6个通孔，6个通孔用于固定6个探头（63）和6个晶振片（64），一个通孔内固定一个探头（63）和一个晶振片（64）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州佑伦真空设备科技有限公司 一种真空蒸镀机腔室顶部的探头结构