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申请/专利权人：苏州市职业大学
摘要：本实用新型公开了一种解调相位可调的电容式MEMS传感器信号检测电路，包括采用高频载波调试的方式进行信号检测的电容式MEMS传感器，所述信号检测电路还包括两路电荷拾取电路、两路高通滤波器、差分放大器、乘法器、相位延迟器和低通滤波器；所述电容式MEMS传感器输出两路分别为DDP和DDN的差动电容信号，两路电荷拾取电路分别与电容式MEMS传感器连接，两路电荷拾取电路用于将DDP和DDN两路差动电容信号分别转换为DDP_CV和DDN_CV的高频调制电信号。本实用新型通过在现有电容式MEMS传感器信号检测电路上，增设一个相位延迟电路来调整载波信号的相位，使其与差分放大后的高频调制信号相位一致，用于乘法解调，最终获得高信噪比的检测输出信号，从而保证了解调效率。
主权项：1.一种解调相位可调的电容式MEMS传感器信号检测电路，包括采用高频载波调试的方式进行信号检测的电容式MEMS传感器1，其特征在于，所述信号检测电路还包括两路电荷拾取电路2、两路高通滤波器3、差分放大器4、乘法器5、相位延迟器6和低通滤波器7；所述电容式MEMS传感器1输出两路分别为DDP和DDN的差动电容信号，两路电荷拾取电路2分别与电容式MEMS传感器1连接，两路电荷拾取电路2用于将DDP和DDN两路差动电容信号分别转换为DDP_CV和DDN_CV的高频调制电信号；两路高通滤波器3分别与两路电荷拾取电路2连接，两路高通滤波器3用于过滤掉低频干扰信号，并分别输出信号为DDP_HP和DDN_HP两路差分信号；所述差分放大器4分别与两路高通滤波器3连接，所述差分放大器4用于对两路差分信号DDP_HP和DDN_HP进行差分放大；所述乘法器5分别与差分放大器4和相位延迟器6连接，所述乘法器5用于接收经差分放大器4差分放大后的D_Diff信号和经相位延迟器6相位延迟后的载波信号Carrier_Delay信号，输出低频传感器信号D_Mult；所述低通滤波器7与乘法器5连接，所述低通滤波器7用于对经乘法器5相干解调出的低频传感器信号D_Mult中的高频噪声进行低通滤波，输出最终的传感器检测信号D_Out。
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百度查询： 苏州市职业大学 一种解调相位可调的电容式MEMS传感器信号检测电路
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