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申请/专利权人：元平台技术有限公司
摘要：描述了一种用于包括多个加强结构的微机电系统MEMS微镜的装置、系统和方法。该MEMS微镜包括用于反射光的镜表面、沿该镜表面耦接的支撑平台、以及由该支撑平台形成或耦接到该支撑平台的多个加强结构。在一些示例中，这些加强结构的维度或密度以有助于在扭转力下保持该镜表面平坦的方式跨该支撑平台的区域缩放。
主权项：1.一种微机电系统MEMS微镜，所述MEMS微镜包括：镜表面，所述镜表面用于反射光；支撑平台，所述支撑平台沿所述镜表面耦接；以及多个加强结构，所述多个加强结构由所述支撑平台形成或耦接到所述支撑平台，其中，所述多个加强结构的维度或密度以有助于在扭转力下保持所述镜表面平坦的方式跨所述支撑平台的区域缩放。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 元平台技术有限公司 用于微机电系统（MEMS）微镜的加强结构
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