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申请/专利权人：兰州迈思锐技术服务有限公司
摘要：本实用新型公开了一种防溅射束流污染的法拉第筒，包括屏蔽筒，所述屏蔽筒的内部均匀安装有支撑柱，且支撑柱的内部安装有收集电极，所述收集电极的两侧均匀安装有连接板，且连接板的底端均安装有连接块，所述支撑柱的内部均设置有连接槽，且连接槽均与连接块相连接。本实用新型通过定向滑槽和定向滑块，方便与偏压电极和收集电极进行导向连接，再通过限位块与限位孔的定位连接，使得连接方式更加简单，再配合插块和连接块实现对收集电极的定位安装，整体操作起来更加简单方便，方便对偏压电极和收集电极局部进行更换，使得整体易操作、易维护、更加皮实的效果。
主权项：1.一种防溅射束流污染的法拉第筒，包括屏蔽筒26，其特征在于：所述屏蔽筒26的内部均匀安装有支撑柱13，且支撑柱13的内部安装有收集电极7，所述收集电极7的两侧均匀安装有连接板8，且连接板8的底端均安装有连接块20，所述支撑柱13的内部均设置有连接槽21，且连接槽21均与连接块20相连接，所述屏蔽筒26的两侧均安装有旋钮9，所述屏蔽筒26的内部均匀设置有容纳槽10，且容纳槽10的内部均安装有螺纹杆11，所述螺纹杆11的外侧均安装有T形螺纹套12，且T形螺纹套12的一侧均匀安装有插块18，所述支撑柱13的内部均匀设置有插孔17，且插孔17均与插块18相连接，所述连接块20的内部皆均匀设置有通孔19，所述插块18均贯穿通孔19的内部，所述屏蔽筒26的顶端设置有光阑1，且光阑1的内部设置有束流入射孔2，所述光阑1的内部均匀安装有偏压电极3，所述光阑1和屏蔽筒26的内部均匀安装有支撑电极6，且支撑电极6的内部皆均匀设置有螺孔16，所述支撑电极6的两端均安装有陶瓷4，所述螺孔16的内部均安装有螺栓5，所述偏压电极3和收集电极7靠近支撑电极6的一侧均安装有定向滑块15，所述支撑电极6的内部皆均匀设置有定向滑槽14，且定向滑槽14均与定向滑块15相连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 兰州迈思锐技术服务有限公司 一种防溅射束流污染的法拉第筒
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