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一种用于ITO镀膜玻璃生产的玻璃基板表面除杂装置 

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申请/专利权人:孟州市康耀电子有限公司

摘要:一种用于ITO镀膜玻璃生产的玻璃基板表面除杂装置,其包括百级洁净车间,百级洁净车间内安装的若干个装载小车,装载小车上装载的玻璃基板,百级洁净车间的一侧设置的磁控溅射镀膜车间,百级洁净车间与磁控溅射镀膜车间之间设置的隔墙以及隔墙中部设置的通过槽,还包括除尘组件,所述通过槽的两侧安装有除尘组件;所述除尘组件包括风机、进风管、出风管、过滤组件、除尘管和吹风孔,风机安装在百级洁净车间外部,风机的一端设置有进风管,风机的出风口连接有出风管,本实用新型结构新颖,构思巧妙,便于对进入磁控溅射镀膜车间的玻璃基板表面的尘点及纤维进行吹除,同时,便于对滤网进行更换,且无需停机更换,有利于使用。

主权项:1.一种用于ITO镀膜玻璃生产的玻璃基板表面除杂装置,包括百级洁净车间(1),百级洁净车间(1)内安装的若干个装载小车(2),装载小车(2)上装载的玻璃基板(3),百级洁净车间(1)的一侧设置的磁控溅射镀膜车间(4),百级洁净车间(1)与磁控溅射镀膜车间(4)之间设置的隔墙(5)以及隔墙(5)中部设置的通过槽(6),其特征在于:还包括除尘组件(7),所述通过槽(6)的两侧安装有除尘组件(7);所述除尘组件(7)包括风机(8)、进风管(9)、出风管(10)、过滤组件(11)、除尘管(12)和吹风孔(13),风机(8)安装在百级洁净车间(1)外部,风机(8)的一端设置有进风管(9),风机(8)的出风口连接有出风管(10),进风管(9)的一端及出风管(10)上均安装有过滤组件(11),除尘管(12)对称固定在通过槽(6)的两侧,除尘管(12)的一侧开设有若干个吹风孔(13)。

全文数据:

权利要求:

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