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申请/专利权人：内蒙古科技大学
摘要：本发明涉及金刚石色心技术领域，具体涉及一种金刚石NV色心系综定向制备的方法，主要包括如下步骤：前期准备、金刚石基底制备、金刚石脱膜处理、金刚石（111）薄膜阶跃流式生长、金刚石NV色心定向制备；本发明解决现有技术无法将NV色心系综[111]定向形成在金刚石（111）面上的问题。
主权项：1.一种金刚石NV色心系综定向制备的方法，其特征在于：包括如下步骤：S1，前期准备：通过超声波清洗机对硅基底进行清洗；将上述硅基底取出后，通过金刚石植晶液将金刚石植晶在硅基底上；硅基底取出后，热风吹干S2，金刚石基底制备：采用微波等离子体化学气相沉积设备，在步骤1中的硅基底上生长厚度约为2000nm-4000nm的金刚石薄膜，作为金刚石基底S3，金刚石脱膜处理：采用氢氟酸，将步骤2中制备的金刚石薄膜及硅基底浸泡在氢氟酸中，并对氢氟酸进行加热处理，去除硅基底，得到完整的金刚石薄膜S4，金刚石（111）薄膜阶跃流式生长：将步骤3中金刚石薄膜翻转，得到金刚石（111）面朝上的金刚石（111）基底，继续沉积，得到阶跃流式的金刚石（111）薄膜S5，金刚石NV色心定向制备N掺杂金刚石（111）薄膜制备：将步骤4中金刚石（111）向薄膜上继续阶跃流式生长，并在生长过程中掺杂N原子，采用微波等离子体化学气相沉积设备，在步骤4中的金刚石（111）基底上生长厚度约为228nm-286nm的含N金刚石（111）薄膜NV色心系综[111]在金刚石（111）薄膜的形成：将步骤5中上述生长后的含N金刚石（111）薄膜放入真空气氛管式退火炉中退火，促使NV色心系综[111]在金刚石（111）薄膜上的形成，实现金刚石NV色心定向制备。
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百度查询： 内蒙古科技大学 一种金刚石NV色心系综定向制备的方法
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