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申请/专利权人：长春理工大学
摘要：本发明涉及极紫外辐射领域，具体公开了一种利用陶瓷钆靶提高极紫外辐射强度的方法。包括以下操作步骤：S1：将Gd2O3粉末与Al2O3粉末复合，制备得到陶瓷钆靶；S2：采用波长为1064nm的Nd:YAG激光器作为产生极紫外光源的驱动激光光源，经焦距为400mm的聚焦透镜聚焦后垂直作用于真空系统中的陶瓷钆靶上，利用陶瓷钆靶提高极紫外辐射强度。
主权项：1.一种利用陶瓷钆靶提高极紫外辐射强度的方法，其特征在于：包括以下操作步骤：S1：将Gd2O3粉末与Al2O3粉末复合，制备得到陶瓷钆靶；S2：采用波长为1064nm的Nd:YAG激光器作为产生极紫外光源的驱动激光光源，经焦距为400mm的聚焦透镜聚焦后垂直作用于真空系统中的陶瓷钆靶上，利用陶瓷钆靶提高极紫外辐射强度。
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权利要求：
百度查询： 长春理工大学 一种利用陶瓷钆靶提高极紫外辐射强度的方法
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