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申请/专利权人：中国科学院高能物理研究所

摘要：本发明公开了一种基于半波片的衍射光栅外差干涉滚转角测量方法及装置。本装置包括设置在激光光源出射光路的非偏振分光组合棱镜，两平行出射光路上分别设置声光调制器，声光调制器出射光路设置第一非偏振分光棱镜，透射光路上分别设置第一四分之一波片、第一二分之一波片、第一透射光栅、第一组合反射镜、第二非偏振分光棱镜、第三非偏振分光棱镜；在反射光路上分别设置第一直角棱镜、第二四分之一波片、第二二分之一波片、第二透射光栅、第二组合反射镜、第二直角棱镜、第三直角棱镜、光空间交换器，第一非偏振分光棱镜出射光路分别设置第一起偏器、第一光电探测器、第二起偏器、第二光电探测器，两光电探测器的探测信号由相位计比相、解算。

主权项：1.一种基于半波片的衍射光栅外差干涉滚转角测量方法，其步骤包括：1激光光源经分光单元分成两束平行出射光；2对两出射光进行调制，得到两束频率不同且线偏振方向平行的第一偏振光束和第二偏振光束；所述第一偏振调制光频率为f1，所述第二偏振调制光频率为f2；3所述第一偏振光与第二偏振光经第一非偏振分光棱镜分光为透射光及反射光；4将第一偏振光束的透射光经第一四分之一波片、第一二分之一波片、第一透射光栅、第一组合反射镜后再次经第一透射光栅及第一二分之一波片的光路记为第一测量臂；将第一偏振光束的反射光经直角棱镜、第二四分之一波片、第二二分之一波片、第二透射光栅、第二组合反射镜后再次经第二透射光栅及第二二分之一波片的光路记为第二测量臂；将第二偏振光束的透射光经第一四分之一波片、第一二分之一波片、第一透射光栅、第一组合反射镜后再次经第一透射光栅及第一二分之一波片的光路记为第三测量臂；将第二偏振光束的反射光经直角棱镜、第二四分之一波片、第二二分之一波片、第二透射光栅、第二组合反射镜后再次经第二透射光栅及第二二分之一波片的光路记为第四测量臂；5第二测量臂输出的光束与第四测量臂输出的光束经光空间交换器进行空间位置交换，使第四测量臂输出的光束经第二直角棱镜反射与第一测量臂输出的光束在第二非偏振分光棱镜处合光为第一测量光、第二测量臂输出的光束经第三直角棱镜反射与第三测量臂输出的光束在第三非偏振分光棱镜处合光为第二测量光；6所述第一测量光经第一检偏器起偏后输入第一光电探测器，生成第一拍频信号；所述第二测量光经第二检偏器起偏后输入第二光电探测器，生成第二拍频信号；7将所述第一拍频信号、第二拍频信号输入相位计进行比相得到相位差将相位差传至计算单元进行计算得到待测物体的滚转角α；其中，第一二分之一波片、第二二分之一波片、第一透射光栅、第二透射光栅设置于待测物体上，随待测物体一同运动。

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