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申请/专利权人：成都稳正科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种金刚石生长室内输气管网，解决现有MPCVD生长室内输气管道杂乱放置于地面导致工作人员管理MPCVD生长炉困难、输气管道检修较为费时和生长房内空间利用率较低的技术问题。本实用新型包括支撑架、进气机构和排气机构。本实用新型将用于输送原料气的管道固定安装于支撑架上，并使支撑架上管道合理有序排列，避免了管道杂乱放置于地面，有利于工作人员对MPCVD生长炉进行管理，并且当管道破损时，能够及时找出具体破损的管道，有利于对管道进行及时检修，同时将散乱平铺于地面的管道立体化有序排布还能有效利用空间，提高生长房内空间利用率。
主权项：1.一种金刚石生长室内输气管网，其特征在于，包括支撑架1，安装于支撑架1上并与MPCVD生长炉2相连接的进气机构，以及与MPCVD生长炉2相连的排气机构；进气机构包括与外接气源相连接的进气管组3，与进气管组3相连通并安装于支撑架1顶部的输气主管组4，以及固定安装于支撑架1上、从输气主管组4接出、并接入至MPCVD生长炉2的输气支管组5。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 成都稳正科技有限公司 一种金刚石生长室内输气管网
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