龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：珠海市能动科技光学产业有限公司
摘要：本发明提供一种光源诱发干膜成型的最佳曝光能量的确定方法，属于印制电路板线路制作技术领域。所述方法的步骤包括覆铜板微蚀干膜、曝光显影形成干膜线路、金相切片制样、线路截面形状拍摄、线宽测量，并根据测量结果确定最佳曝光能量。在印制电路板线路制作之图形转移的过程中，采用本发明的方法，覆铜板经微蚀热压干膜、曝光显影形成图形线路后，可准确获取特定曝光光源下该线路截面形状信息、顶部线宽和底部线宽，为干膜在图形转移中设定合适的曝光参数提供指导方向，从而保证图形电镀铜线路侧壁良好的垂直状态及稳定的线宽线距比，提高精细线路制作良率和制程能力指标Cpk。
主权项：1.一种光源诱发干膜成型的最佳曝光能量的确定方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、微蚀后的覆铜板表面热压干膜；S2、干膜经过梯度方式曝光及迅速显影后形成干膜线路；S3、金相切片制样：金相切片制样用于固定样品的位置和方向，把干膜线路的截面裸露于金相切片的研磨抛光面，且此干膜线路垂直于金相切片的研磨抛光面；S4、干膜线路边墙结构垂直状态评价：采用3D激光显微镜观察干膜线路截面形状，并用ImageJ测量各曝光能量下干膜线路顶部线宽L1及底部线宽L2；S5、基于S4测量的线宽数据判断光源诱导干膜曝光成型类型及筛选出制作干膜精细线路所需的最佳曝光能量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 珠海市能动科技光学产业有限公司 一种光源诱发干膜成型的最佳曝光能量的确定方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号