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申请/专利权人：东莞市瑞科智能科技有限公司
摘要：本发明提供一种用于半导体晶元的CCD水平式自动检测设备，涉及半导体晶元检测技术领域，包括机身和机台，所述机台固定安装在机身的内侧，所述机台上设置有升降供料仓，升降供料仓内设置有堆叠待检测的晶圆片，升降供料仓一侧设置有二轴定位平台，二轴定位平台上方设置有三轴机械手，三轴机械手的一侧设置有玻璃转盘检测机构，玻璃转盘检测机构一侧设置四轴取料机械手，四轴取料机械手一侧设置有收料机构。本发明中四个定位柱再次伸入到上方的产品载盘托板内进行定位，并再次将载盘装满，如此进行循环，将检测后的良品进行包装装盘，方便后续操作，通过上述对半导体晶元的自动化检测工作，一定程度上提高了对半导体晶元检测的效率。
主权项：1.一种用于半导体晶元的CCD水平式自动检测设备，包括机身（1）和机台（2），其特征在于，所述机台（2）固定安装在机身（1）的内侧，所述机台（2）上设置有升降供料仓，升降供料仓内设置有堆叠待检测的晶圆片（8），升降供料仓一侧设置有二轴定位平台，二轴定位平台上方设置有三轴机械手，三轴机械手的一侧设置有玻璃转盘检测机构，玻璃转盘检测机构一侧设置四轴取料机械手，四轴取料机械手一侧设置有收料机构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东莞市瑞科智能科技有限公司 一种用于半导体晶元的CCD水平式自动检测设备
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