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申请/专利权人：中国科学院兰州化学物理研究所
摘要：一种快速制备晶圆级高质量超薄金属透明薄膜的方法，涉及透明柔性导电材料技术领域，所制备的金属透明薄膜厚度为3‑20nm，包括如下步骤：在基底上涂覆液体衬底，放入离子溅射仪的腔体中；关闭腔体，抽真空，开始溅射，通过调节溅射功率和沉积时间来控制金属膜的厚度；待腔体冷却后，取出样品，将目标基底紧贴在金属膜上方，将目标基底和金属膜一起沿着基底缓慢滑下，泡入石油醚中以去除多余的液体衬底；取出后超声清洗，得到完整的金属透明薄膜。本发明可有效提高超薄金属透明薄膜的制备质量和制备效率。
主权项：1.一种快速制备晶圆级高质量超薄金属透明薄膜的方法，其特征为：所制备的金属透明薄膜厚度为3-20nm，包括如下步骤：1首先将液体衬底涂覆在平整的基底表面，使其均匀覆盖在基底上方，然后将带有液体衬底的基底放入离子溅射仪的腔体中；2将金属靶材固定，关闭腔体，抽真空，开始溅射，通过调节溅射功率和沉积时间来控制金属膜的厚度，溅射完毕后冷却三分钟；3待腔体冷却后，取出样品，将目标基底紧贴在金属膜上方，将目标基底和金属膜一起沿着基底缓慢滑下，泡入石油醚中以去除多余的液体衬底；取出后超声清洗，得到完整的金属透明薄膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院兰州化学物理研究所 一种快速制备晶圆级高质量超薄金属透明薄膜的方法
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