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申请/专利权人：浙江大学
摘要：本发明公开了一种修正阵列波导光栅中心波长偏移优化波分复用器件的方法，包括：将阵列波导光栅沿光的传输路径依次划分为输入平板波导、阵列波导以及输出平板波导；若偏移方向为实际输出中心波长相对目标输出中心波长红移，则根据波长偏移量刻蚀阵列波导上的包层的深度；若实际输出中心波长相对目标输出中心波长蓝移，则在阵列波导的包层上生长较高折射率包层；完成阵列波导光栅中心波长偏移优化。本发明利用波导有效折射率随包层变化的特性，可以通过调控阵列波导部分包层的方式来调控有效折射率从而达到调控中心波长的目的，能够解决波分复用器件复用与解复用两端中心波长不匹配的问题。
主权项：1.一种修正阵列波导光栅中心波长偏移优化波分复用器件的方法，其特征在于，包括以下步骤：1先在晶圆的波导层上刻蚀阵列波导光栅，对阵列波导光栅生长包层，形成波分复用器件；2测量阵列波导光栅的实际输出中心波长，通过阵列波导光栅的实际输出中心波长和目标输出中心波长获得偏移方向并计算波长偏移量；3将阵列波导光栅沿光的传输路径依次划分为输入平板波导、阵列波导以及输出平板波导；若偏移方向为实际输出中心波长相对目标输出中心波长红移，则根据波长偏移量刻蚀阵列波导上的包层的深度；若实际输出中心波长相对目标输出中心波长蓝移，则在阵列波导的包层上生长较高折射率包层；完成阵列波导光栅中心波长偏移优化。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江大学 一种修正阵列波导光栅中心波长偏移优化波分复用器件的方法
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