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申请/专利权人:京瓷株式会社
摘要:试料保持工具具备陶瓷板、耐热构件以及基座构件。陶瓷板、耐热构件以及基座构件以陶瓷板、耐热构件、基座构件的顺序配置。耐热构件与陶瓷板相比热膨胀率较小,且未与陶瓷板接合。
主权项:1.一种试料保持工具,其中,所述试料保持工具具备:陶瓷板;耐热构件;以及基座构件,所述陶瓷板、所述耐热构件以及所述基座构件以所述陶瓷板、所述耐热构件、所述基座构件的顺序配置,所述耐热构件与所述陶瓷板相比热膨胀率较小,且未与所述陶瓷板接合。
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